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氦质谱检漏仪系统

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检漏仪发展的历史

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检漏仪发展的历史

发布日期:2018-12-25 作者:迪泰真空 点击:

氦质谱检漏仪原理浅析检漏仪发展的历史 

      第二次世界大战中期,美国为了制造原子弹,在田纳西州的橡树岭(Oak Ridge)建立的大规模分离铀-235 的工厂。为了探测电磁分离器真空系统中的漏孔,1943 年由明尼苏达州大学的 A.O.C.Nier 设计了世界上第一台具有简易气体分析器的玻璃外壳的质谱检测仪。它使用一个热灯丝阴极,并且以氦气做示踪气体,1944 年由美国通用电气公司投入生产。后来 Dr. Jacobs 制成了全金属的质谱管和真空系统。1945 年韦斯门毫斯公司与真空电子工程公司开始生产氦质谱检测仪,它对氦的灵敏度只有10-7Pa·m3/s。1945 年以后,氦质谱检漏仪经过不断改进与发展,在提高仪器灵敏度、稳定性、可靠性、操作自动化、便于维修、缩小体积、减轻重量和降低成本等方面都有了较大进步。1950 年其灵敏度达到10-10Pa·m3/s,1959 年,T.L.Perers首先提出了用二级磁场分析器和电子倍增器的方法,灵敏度达到 10-14Pa·m3/s.1961 年,Doctoff 应用了高效率的轴向离子源和差级抽气装置,做出了灵敏度为 3.7×10-14Pa·m3/s 的仪器。1965 年 9 月,我国兰州物理研究所的金建中院士和范垂祯研究员采用轴向离子源、双方向聚焦两级非均匀磁场和差级抽气的方法做出了最小可检漏率达到 5×10-14Pa·m3/s 的氦质谱检漏仪。1967 年 B.U.Kopnol提出用分子筛冷吸附泵与质谱检漏仪连用提高氦质谱检漏灵敏度的方法,使灵敏度由 10-11Pa·m3/s 提高到 10-14Pa·m3/sL.Verheyden采用累积法使氦质谱检漏仪的灵敏度由 10-11Pa·m3/s 提高到 10-16Pa·m3/s.特别是 1970年美国国家实验室的瓦尔·布里格斯(Watter Briggs)提出了逆流检漏的原理后,不仅使便携式氦质谱检漏仪得到了很快的发展,而且解决了氦质谱检漏仪对大漏率的检测问题。目前,氦质谱检漏技术已成为灵敏度最高、应用范围最广的一门检漏技术。

       随着社会的进步,环保和安全意识的提高,氦质谱检漏技术在航空航天、军工、科研、石油化工、制冷、医疗半导体、管道检漏、超导实验、金属制造、深海潜水、高精度焊接、光电子产品生产等领域。

氦质谱检漏仪原理

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